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山西烁科晶体有限公司(简称“烁科晶体”)音讯称,企业已于2022年1月完成8英寸N型碳化硅抛光片小批量出产,向8英寸国产N型碳化硅抛光片的批量化出产迈出要害一步。上一年8月,烁科晶体已研制出8英寸碳化硅晶体,处理大尺度单晶制备的重要难题。
烁科晶体官网显现,企业成立于2018年,是国内从事第三代半导体资料碳化硅出产和研制的领军企业。公司经过自主创新和自主研制全面把握了碳化硅成长配备制作、高纯碳化硅粉料制备工艺,N型碳化硅单晶衬底和高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺,形成了碳化硅粉料制备、单晶成长、晶片加工等整套出产线英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底技能攻关。(校正/Winfred)