本发明提供了一种金刚石砂轮，包括砂轮基体和粘结在所述砂轮基体上的金刚石复合烧结块，该金刚石复合烧结块主要由复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨均匀混合高温烧结而成，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒和形成在所述金刚石颗粒表面上的耐磨金属化合物组成。本发明还提供了一种上述金刚石砂轮的制备方法，包括以下步骤：金刚石颗粒预处理、形成耐磨金属化合物、制备金刚石复合烧结块以及制备砂轮。所以，由本发明提供的金刚石砂轮具备比较好的耐磨性和常规使用的寿命长等特点；能应用蓝宝石减薄工艺，能够减少蓝宝石在减薄过程中需

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112536735 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 8.X B24D 18/00 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) (22)申请日 2020.10.30 审查员 宋洪达 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 112536735 A (43)申请公布日 2021.03.23 (73)专利权人 河南富莱格超硬材料有限公司 地址 454950 河南省焦作市武陟县河朔大 道088号 (72)发明人 孔帅斐张敏捷李和鑫 (74)专利代理机构 郑州德勤知识产权代理有限 公司 41128 代理人 王莉 (51)Int.Cl. B24D 7/06 (2006.01) B24D 3/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 金刚石砂轮及其制备方法 (57)摘要 本发明提供了一种金刚石砂轮，包括砂轮基 体和粘结在所述砂轮基体上的金刚石复合烧结 块，该金刚石复合烧结块主要由复合金刚石颗 粒、预合金粉末和鳞片状的石墨均匀混合高温烧 结而成，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒 和形成在所述金刚石颗粒表面上的耐磨金属化 合物组成。本发明还提供了一种上述金刚石砂轮 的制备方法，包括以下步骤：金刚石颗粒预处理、 形成耐磨金属化合物、制备金刚石复合烧结块以 及制备砂轮。所以，由本发明提供的金刚石砂轮 具备比较好的耐磨性和常规使用的寿命长等特点；可以应 用蓝宝石减薄工艺，能够减少蓝宝石在减薄过程 B 中需要修整的次数，从而提高蓝宝石减薄加工效 5 率。 3 7 6 3 5 2 1 1 N C CN 112536735 B 权利要求书 1/2页 1.一种金刚石砂轮，其包括砂轮基体和粘结在所述砂轮基体上的金刚石复合烧结块， 该金刚石复合烧结块主要由复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨均匀混合高温烧 结而成，其中，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒和形成在所述金刚石颗粒表面上的 耐磨金属化合物组成; 在所述金刚石颗粒表面形成所述耐磨金属化合物的步骤包括： ‑3 将干净的金刚石颗粒置于镀膜机腔室的基片台上，并抽线 Pa；将所述基片台加热至550℃～600℃，所述基片台的转速为10～15 rad/min，沉积电 流为100A，氢气以50～65 sccm的流量携带丙酮通入镀膜机中； 同时以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶和沉积功率为2000～2500 W的钛靶，沉积1 ～2 h，在所述干净的金刚石颗粒表面形成碳化钛和碳化铝的复合层； 同时以沉积功率为3000～4000W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500W的钛硅靶和沉积功 率为1000～1500W的钛靶，沉积1～2 h，在所述碳化钛和碳化铝的复合层上形成碳化钛、碳 化铝和碳化硅的复合层； 同时以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500 W的钛铬靶和沉积 功率为1000～1500 W的钛靶，沉积1～2 h，在所述碳化钛、碳化铝和碳化硅的复合层上形成 碳化铬、碳化钛和碳化铝层的复合层，得到复合金刚石颗粒； 最后冷却至室温，泄压取出所述复合金刚石颗粒。 2.根据权利要求1所述的金刚石砂轮，其特征在于：所述复合金刚石颗粒的浓度为125% ～150%，所述预合金粉末的质量分数50%～60%，所述石墨的质量分数为5%～10%。 3.根据权利要求1所述的金刚石砂轮，其特征在于：所述复合金刚石颗粒的粒度为400# ～8000#，所述预合金粉末的粒度为400#～1000#，所述石墨的粒度为20#～50#。 4.一种金刚石砂轮的制备方法，包括以下步骤： 金刚石颗粒预处理 先对金刚石颗粒进行酸碱处理，然后进行超声水洗并干燥，获得干 净的金刚石颗粒； 形成耐磨金属化合物 将所述干净的金刚石颗粒置于镀膜机腔室的基片台上，并抽线  Pa；将所述基片台加热至550℃～600℃，所述基片台的转 速为10～15 rad/min，沉积电流为100A，氢气以50～65  sccm的流量携带丙酮通入镀膜机 中；同时以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶和沉积功率为2000～2500 W的钛靶，沉积1～ 2 h，在所述干净的金刚石颗粒表面形成碳化钛和碳化铝的复合层；同时以沉积功率为3000 ～4000W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500W的钛硅靶和沉积功率为1000～1500W的钛靶，沉 积1～2 h，在所述碳化钛和碳化铝的复合层上形成碳化钛、碳化铝和碳化硅的复合层；同时 以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500 W的钛铬靶和沉积功率为 1000～1500 W的钛靶，沉积1～2 h，在所述碳化钛、碳化铝和碳化硅的复合层上形成碳化 铬、碳化钛和碳化铝层的复合层，得到复合金刚石颗粒；最后冷却至室温，泄压取出所述复 合金刚石颗粒； 制备金刚石复合烧结块  先将所述复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨均匀 混合，再在真空环境中进行热压烧结处理，获得金属复合烧结块； 制备砂轮 对所述金属复合烧结块进行减薄、粗磨和精磨处理，获得预定尺寸要求的烧 结块；将所述预定尺寸要求的烧结块粘结在砂轮基体上，制得所述金刚石砂轮。 2 2 CN 112536735 B 权利要求书 2/2页 5.根据权利要求4所述的金刚石砂轮的制备方法，其特征在于：所述金刚石颗粒预处理 步骤包括：将粒径为7～40 μm的金刚石颗粒分别在质量百分比20%～25%的硝酸和20%～25% 的氢氧化钠溶液中蒸煮20～35 min，将蒸煮过的所述金刚石颗粒在蒸馏水中超声清洗15～ 40 min，然后烘干，获得所述干净的金刚石颗粒。 6.根据权利要求4或5所述的金刚石砂轮的制备方法，其特征在于：所述制备金刚石复 合烧结块的步骤包括先将所述复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨置于三维混料 机中均匀混合12～30 h，获得预混料，其中，在所述预混料中，所述复合金刚石颗粒的浓度 为125%～150%，所述预合金粉末的质量分数50%～60%，所述石墨的质量分数为5%～10%；将 所述预混料投入石墨模具中，然后置于真空热压烧结机中，在烧结压力80～250 KN和烧结 温度520℃～650℃及线 min，然后泄压且在8～15 min内降至室温，即 获得所述金刚石复合烧结块，且所述金刚石复合烧结块的高度为11～16 cm。 3 3 CN 112536735 B 说明书 1/6页 金刚石砂轮及其制备方法 技术领域 [0001] 本发明属于超硬材料应用及加工技术领域，具体涉及一种金刚石砂轮及其制备方 法。 背景技术 [0002] 蓝宝石是一种氧化铝的单晶，晶格结构独特，耐磨且硬度仅次于金刚石，具有良好 的透光性、电气绝缘性，是LED、SOS等理想的衬底材料。自90年代后LED照明逐渐渗透进人类 生活，蓝宝石开始广泛用于LED衬底材料，预计2021年蓝宝石市场规模约为105亿。蓝宝石衬 底的减薄是LED生产过程中必不可少的一道工艺。目前蓝宝石减薄主要采用的是砂轮减薄， 由于蓝宝石的脆性和减薄后较深的刮伤将影响后续切割的工艺的原因，蓝宝石在减薄过程 中需要进行修整，而砂轮修整时间是影响加工效率的重要环节之一。 [0003] 金刚石因同时具有高硬度、高化学稳定性、高耐磨性和低摩擦系数被广泛应用到 各个领域。目前蓝宝石减薄砂轮采用的磨料为金刚石。金刚石砂轮是指以金刚石颗粒为切 削材料，借助于结合剂或其他辅助材料经过压制、烧结以及加工制成一定形状和用途的制 成品，在使用过程中金刚石对于一些粘结用的金属或合金的化学亲和力差，不易被其润湿， 导致其应用性能较差。由于结合剂和磨料之间的粘结强度低等原因在磨具使用过程中金刚 石磨料极易脱落，降低磨料的寿命。 [0004] 现有采用的化学镀由于金刚石制备过程中往往会产生的废酸废碱严重影响环境 正在面临更新换代的挑战。真空微蒸发镀可以对金刚石表面进行镀覆处理，但目前主要是 进行金属镀覆。通常为镀镍、镀钛、镀钨和镀铬等处理。现有的镀覆金刚石多用于树脂结合 剂，适用于金属结合剂的镀覆金刚石较少。所以，目前用于蓝宝石减薄的金刚石砂轮仍存在 金刚石磨料易脱落，耐磨性差，使用寿命短等问题，从而影响蓝宝石减薄加工效率。 发明内容 [0005] 有鉴于此，本发明确有必要提供一种金刚石砂轮及其制备方法，以解决蓝宝石减 薄加工效率低的问题。 [0006] 为此，本发明提供一种金刚石砂轮，其包括砂轮基体和粘结在所述砂轮基体上的 金刚石复合烧结块，该金刚石复合烧结块主要由复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的 石墨均匀混合高温烧结而成，其中，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒和形成在所述 金刚石颗粒表面上的耐磨金属化合物组成。 [0007] 基于上述，所述耐磨金属化合物为碳化钛、碳化铬、碳化铝、碳化硅或其任意组合。 [0008] 其中，所述预合金粉末为铜基、铁基、钴基或镍基金属混合粉。优选地，所述预合金 粉末为铜基金属混合粉，该铜基金属化合物为铜粉和锡粉的混合金属粉。更优选地，所述预 合金粉末为Cu65Sn35、Cu57Sn43、Cu60Sn40、Cu68Sn32或Cu70Sn30。 [0009] 基于上述，所述复合金刚石颗粒的浓度为125%～150%，所述预合金粉末的质量分 数50%～60%，所述石墨的质量分数为5%～10%。 4 4 CN 112536735 B 说明书 2/6页 [0010] 基于上述，所述复合金刚石颗粒的粒度为400#～8000#，所述预合金粉末的粒度为 400#～1000#，所述石墨的粒度为20#～50#。优选地，所述复合金刚石颗粒的粒度为400#、 800#、3000#或8000#，所述预合金粉末的粒度为400#、500#、600#、800#或1000#，所述石墨的 粒度为20#、30#、40#或50#。 [0011] 本发明还提供一种上述金刚石砂轮的制备方法，包括以下步骤： [0012] 金刚石颗粒预处理 先对金刚石颗粒进行酸碱处理，然后进行超声水洗并干燥，获 得干净的金刚石颗粒； [0013] 形成耐磨金属化合物 在所述干净的金刚石颗粒表面沉积耐磨金属化合物，获得 复合金刚石颗粒； [0014] 制备金刚石复合烧结块 先将所述复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨 均匀混合，再在真空环境中进行热压烧结处理，获得金属复合烧结块； [0015] 制备砂轮 对所述金属复合烧结块进行减薄、粗磨和精磨处理，获得预定尺寸要求 的烧结块；将所述预定尺寸要求的烧结块粘结在砂轮基体上，制得所述金刚石砂轮。 [0016] 基于上述，所述金刚石颗粒预处理步骤包括：将粒径为7～40 μm的金刚石颗粒分 别在质量百分比20%～25%的硝酸和20%～25%的氢氧化钠溶液中蒸煮20～35 min，将蒸煮过 的所述金刚石颗粒在蒸馏水中超声清洗15～40 min，然后烘干，获得所述干净的金刚石颗 粒。 [0017] 基于上述，所述形成耐磨金属化合物的步骤包括：采用线 ℃的条件下，以及在氢气和丙酮的混合气氛中，在所述干净的金刚石颗粒的表面沉积所述 耐磨金属化合物，以得到所述复合金刚石颗粒；其中，所述耐磨金属化合物的材料为碳化 钛、碳化铬、碳化铝、碳化硅或其任意组合。 [0018] 基于上述，所述形成耐磨金属化合物的步骤包括： [0019] 将所述干净的金刚石颗粒置于镀膜机腔室的基片台上，并抽线  Pa；将所述基片台加热至550℃～600℃，所述基片台的转速为10～15 rad/ min，沉积电流为100A，氢气以50～65 sccm的流量携带丙酮通入所述镀膜机中； [0020] 同时以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶和沉积功率为2000～2500 W的钛靶，沉 积1～2 h，在所述干净的金刚石颗粒表面形成碳化钛和碳化铝的复合层； [0021] 同时以沉积功率为3000～4000W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500W的钛硅靶和沉 积功率为1000～1500W的钛靶，沉积1～2 h，在所述碳化钛和碳化铝合金层上形成碳化钛、 碳化铝和碳化硅的复合层； [0022] 同时以沉积功率为3000～4000 W的钛铝靶、沉积功率为1000～1500 W的钛铬靶和 沉积功率为1000～1500 W的钛靶，沉积1～2 h，在所述碳化钛、碳化铝和碳化硅的复合层上 形成碳化铬、碳化钛和碳化铝层的复合层； [0023] 最后冷却至室温，泄压取出所述复合金刚石颗粒。 [0024] 基于上述，所述制备金刚石复合烧结块的步骤包括：先将所述复合金刚石颗粒、预 合金粉末和鳞片状的石墨置于三维混料机中均匀混合12～30 h，获得预混料，其中，在所述 预混料中，所述复合金刚石颗粒的浓度为125%～150%，所述预合金粉末的质量分数50%～ 60%，所述石墨的质量分数为5%～10%；将所述预混料置于真空热压烧结机中进行烧结处理， 获得所述复合金刚石颗粒，且所述复合金刚石颗粒的高度为11～16 cm。 5 5 CN 112536735 B 说明书 3/6页 [0025] 基于上述，获得所述复合金刚石颗粒的步骤包括：将将所述预混料投入石墨模具 中，然后置于真空热压烧结机中，在烧结压力80～250 KN和烧结温度520℃～650℃及线 min，然后泄压且在8～15 min内降至室温，即获得所述复合金刚石颗 粒。 [0026] 与现有技术相比，本发明提供的金刚石砂轮包括金刚石复合烧结块，该金刚石复 合烧结块主要由复合金刚石颗粒、预合金粉末和鳞片状的石墨均匀混合高温烧结而成，其 中，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒和形成在所述金刚石颗粒表面上的耐磨金属化 合物组成，可以增强金刚石的耐磨性；预合金粉末与所述复合金刚石颗粒表面的耐磨金属 化合物具有较好的粘结性，鳞片状的石墨主要用作润滑剂，使得三者经过高温烧结后得到 的金刚石复合烧结块中，表面形成有耐磨金刚石化合物的金刚石颗粒均匀分散其中，使得 其作为砂轮磨料具有把持力强、不易脱落、耐磨性好等特点，所以，本发明提供的金刚石砂 轮具有较好的耐磨性和使用寿命长等特点；所述金刚石砂轮能应用蓝宝石减薄工艺，能 够减少蓝宝石在减薄过程中需要修整的次数，来提升蓝宝石减薄加工效率。 [0027] 进一步，本发明提供的上述制备方法中，采用真空镀膜法，在氢气和丙酮的混合气 氛中，以及530℃～610℃的高温作用下，混合气氛中的丙酮分解与金属靶材发生化学反应 形成耐磨金属化合物，然后所述耐磨金属化合物再均匀沉积在金刚石颗粒的表面，从而实 现在金刚石颗粒表明产生耐磨金属化合物。 附图说明 [0028] 图1是由本发明实施例一提供金刚石砂轮的照片图。 [0029] 图2是本发明实施例一采用的复合金刚石颗粒照片图。 [0030] 图3是本发明实施例一在实施过程中获得的金属复合烧结块的照片图。 [0031] 图4是本发明实施例一提供的金刚石砂轮应用与蓝宝石减薄工艺的测试效果图。 [0032] 其中，图中的元件符号代表：1、砂轮基体，2、金刚石复合烧结块。 具体实施方式 [0033] 下面通过具体实施方式，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。 [0034] 实施例一 [0035] 请参阅图1，本实施例提供一种金刚石砂轮，其包括砂轮基体1和粘结在所述砂轮 基体1上的金刚石复合烧结块2，该金刚石复合烧结块2主要由粒度为400#的复合金刚石颗 粒、粒度为500#的预合金粉末Cu65Sn35和粒度为40#的鳞片状的石墨均匀混合高温烧结而 成。其中，所述复合金刚石颗粒主要由金刚石颗粒和形成在所述金刚石颗粒表面上的耐磨 金属化合物组成，且所述耐磨金属化合物为碳化钛、碳化铬、碳化铝和碳化硅的复合。所述 复合金刚石颗粒的浓度为150%，所述预合金粉末Cu65Sn35的质量分数50%，所述石墨的质量 分数为10%。 [0036] 本发明实施例提供一种上述金刚石砂轮的制备方法，包括以下步骤： [0037] 一、金刚石颗粒预处理 [0038] 将粒径28～40 μm的金刚石颗粒依次在质量百分比25%的硝酸和质量百分比25%的 氢氧化钠溶液中蒸煮30分钟。将蒸煮过的金刚石在蒸馏水中采用超声波清理分钟。将超声 6 6 CN 112536735 B 说明书 4/6页 波处理后的金刚石烘干，得到干净的金刚石颗粒。 [0039] 二、形成耐磨金属化合物 [0040] 将上述干净的金刚石颗粒放入镀膜机腔室的基片台上，并抽线 Pa；将所述基片台加热至580℃左右，以钛、面积比为5:3的钛铝、面积比为5: 1的钛硅、面积比为5:2的钛铬为靶材，所述基片台以10～15 rad/min旋转并使置于其上的 金刚石自由滚动，沉积电流为100A，氢气以约60 sccm的流量携带丙酮通入所述镀膜机中； [0041] 以钛铝靶和钛靶为靶材，同时在钛铝靶3500 W左右和钛靶2400 W左右的沉积功率 下沉积2 h，在所述干净的金刚石颗粒表面均匀形成碳化钛和碳化铝复合层； [0042] 以钛铝靶、钛硅靶和钛靶为靶材，同时在钛铝靶3600 W左右、钛硅靶1300 W左右和 钛靶1200 W左右的沉积功率下沉积1.5 h，在所述碳化钛和碳化铝复合层上均匀形成碳化 钛、碳化铝和碳化硅复合层； [0043] 然后以钛铝靶、钛铬靶和钛靶为靶材，同时在钛铝靶3500 W左右、钛铬靶1400 W左 右和钛靶1300 W左右的沉积功率下沉积1 h，在所述碳化钛、碳化铝和碳化硅复合层上均匀 形成碳化钛、碳化铝和碳化铬复合层； [0044] 最后沉积完成后冷却至室温，泄压取出所述复合金刚石颗粒，如图2所示。对泄压 获得的所述复合金刚石颗粒进行筛分处理，获得粒度为400#的复合金刚石颗粒。 [0045] 三、制备金刚石复合烧结块 [0046] 按照本实施例提供的量化关系分别称量上述粒度为400#的复合金刚石颗粒、粒度 500#的Cu65Sn35预合金粉末和40#的鳞片状石墨的质量，并将三者置于三维混料机中混料 24 h，获得预混料； [0047] 所述预混料按照计算的质量称量投入石墨模具中，铺平放入SMVB100真空热压烧 结机中进行烧结处理。具体烧结工艺为：装有所述预混料的石墨模具置于所述真空热压烧 结机中之后，所述真空热压烧结机抽线 KN的烧结压力下 维持150  s，再在180 KN的烧结压力下维持500  s；同时，所述真空热压烧结机内腔温度先在 30  s内升至100℃并保温10  s，然后在120  s内升温至560℃并保温500  s；随后所述真空热 压烧结机泄压且烧结机内温度在600  s内降至25℃，从所述真空热压烧结机内取出如图3所 示的金属复合烧结块，该金属复合烧结块的高度为15 mm。 [0048] 四、制备砂轮 [0049] 将所述金属复合烧结块在单端面设备上进行减薄，并经过粗磨和精磨后达到相关 的尺寸要求，获得预定尺寸要求的烧结块；采用粘结剂将所述预定尺寸要求的烧结块粘牢 在所述砂轮基体1上，并在激光加工中心上修整烧结块的高度，保证烧结块具有一致的高 度，从而制得所述金刚石砂轮。 [0050] 实施例二 [0051] 本实施例提供一种金刚石砂轮，其与实施例一提供的金刚石砂轮的结构基本相 同，主要不同之处在于：本实施例采用的原料复合金刚石颗粒的浓度为125%、粒度为800#， 预合金粉末Cu65Sn35的质量分数60%、粒度为500#，所述石墨的质量分数为7%、粒度为50#。 [0052] 本实施例提供的金刚石砂轮的制备方法与实施例一提供的金刚石砂轮的制备方 法基本相同，主要不同之处在于：各原料的量化关系以及步骤“三、制备金刚石复合烧结块” 其中的烧结工艺参数。其中，本实施例提供的制备方法涉及的具体烧结工艺为：装有所述预 7 7 CN 112536735 B 说明书 5/6页 混料的石墨模具置于所述真空热压烧结机中之后，所述真空热压烧结机抽线 KN的烧结压力下维持185  s，再在200 KN的烧结压力下维持485  s；同 时，所述真空热压烧结机内腔温度先在40  s内升至120℃并保温10  s，然后在120  s内升温 至580℃并保温500  s；随后所述真空热压烧结机泄压且烧结机内温度在600  s内降至25℃， 从所述真空热压烧结机内取出如图3所示的金属复合烧结块，该金属复合烧结块的高度为 15 mm。 [0053] 实施例三 [0054] 本实施例提供一种金刚石砂轮，其与实施例一提供的金刚石砂轮的结构基本相 同，主要不同之处在于：本实施例采用的原料复合金刚石颗粒的浓度为140%、粒度为3000#， 预合金粉末Cu65Sn35的质量分数55%、粒度为700#，所述石墨的质量分数为5%、粒度为30#。 [0055] 本实施例提供的金刚石砂轮的制备方法与实施例一提供的金刚石砂轮的制备方 法基本相同，主要不同之处在于：各原料的量化关系以及步骤“三、制备金刚石复合烧结块” 其中的烧结工艺参数。其中，本实施例提供的制备方法涉及的具体烧结工艺为：装有所述预 混料的石墨模具置于所述真空热压烧结机中之后，所述真空热压烧结机抽线 KN的烧结压力下维持150  s，再在200 KN的烧结压力下维持500  s；同 时，所述真空热压烧结机内腔温度先在40  s内升至150℃并保温10  s，然后在120  s内升温 至600℃并保温480  s；随后所述真空热压烧结机泄压且烧结机内温度在600  s内降至25℃， 从所述真空热压烧结机内取出如图3所示的金属复合烧结块，该金属复合烧结块的高度为 15 mm。 [0056] 性能验证 [0057] 试样：分为实例样品和对照样品，其中，实例样品是实施例一至实施例三提供的金 刚石砂轮样品，分别标记为实例样品1、实例样品2和实例样品3； [0058] 对照样品与实例样品1的主要区别在于：对照样品中采用的金刚石复合烧结块主 要由粒度为400#的金刚石颗粒、粒度为500#的预合金粉末Cu65Sn35和粒度为40#的鳞片状 的石墨组成，即对照样品中的金刚石复合烧结块的原料是金刚石颗粒而非本发明实施例一 种的复合金刚石颗粒。 [0059] 试验条件：在蓝宝石减薄设备上，取5片蓝宝石晶圆采用熔融石蜡粘贴在基体在载 物台表面，在砂轮转速为600～800 rad/min，载物台转速40～60 rad/min,砂轮进给为1～ 1.5 μm/s的参数下进行减薄加工，加工结束后测量晶圆厚度。相关测试数据见图4和表1。 [0060] 表1 金刚石砂轮性能测试结果 [0061] [0062] 从表1中可以看出：与对照样品相比，本发明各实施例提供的金刚石砂轮用在对蓝 宝石减薄工艺上，两者的合格率接近，相差不大；本发明各实施例提供的金刚石砂轮的减薄 8 8 CN 112536735 B 说明书 6/6页 精度完全可以达到现有技术的标准，甚至超过现有技术，同时，本发明各实施例提供的金刚 石砂轮的常规使用的寿命明显提高。 [0063] 最后应当说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽 管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然 可以对本发明的具体实施方式来进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发 明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。 9 9 CN 112536735 B 说明书附图 1/4页 图1 10 10 CN 112536735 B 说明书附图 2/4页 图2 11 11 CN 112536735 B 说明书附图 3/4页 图3 12 12 CN 112536735 B 说明书附图 4/4页 图4 13 13

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